HBM4E, ์คํ ๋์ด ์ํ์๋ Hybrid Bonding์ ํ์๊ฐ ๋๋ค
์ฐจ์ธ๋ ๊ณ ๋์ญํญ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ์ธ HBM4E ๋ฅผ ๋๋ฌ์ผ ์ ๊ณ์ ์์ ์ด ๋จ๊ฒ์ต๋๋ค. ํ์ฌ HBM4 ๊ท๊ฒฉ์์๋ ์ฝ 775 ยตm ์์ค์ผ๋ก ์ ์๋ ์คํ ๋์ด๊ฐ HBM4E ์์ ์ฝ 900 ยตm ๊น์ง ์ํ๋ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ๋ ผ์๋๊ณ ์์ฃ . ์ด๋ ๊ธฐ์กด ๋ง์ดํฌ๋ก ๋ฒํ ๊ธฐ๋ฐ TC ๋ณธ๋ฉ ๋ฐฉ์์ ์ ์ฉ ๊ธฐ๊ฐ์ ์ฐ์ฅํ ์ ์๋ ์ฌ์ง๋ฅผ ๋ง๋ค์ด์ฃผ์ง๋ง, ์ ๊ณ๋ ์ฌ์ ํ Hybrid Bonding ๋์ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ์ ์น๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋จ์ํ ์คํ ๋์ด ์ถ์๋ฅผ ๋์ด์ ๊ธฐ์ ์ ์ฅ์ ์ด ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค.
Hybrid Bonding ์ด ์ฃผ๋ชฉ๋ฐ๋ ์ด์ ๋ ๊ธฐ์กด ๋ฐฉ์์ด ๊ฐ์ง ๋ฌผ๋ฆฌ์ ํ๊ณ๋ฅผ ๊ทน๋ณตํ ์ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค. ๋ง์ดํฌ๋ก ๋ฒํ๊ฐ ์๋ ๊ธ์ ํจ๋์ ์ ์ฐ๋ง์ ์ง์ ์ ํฉ์ ์ ํธ ์ ๋ฌ ๊ฑฐ๋ฆฌ๋ฅผ ํ๊ธฐ์ ์ผ๋ก ์ค์ฌ ์ ํญ๊ณผ ๊ธฐ์ ์ปคํจ์ํด์ค๋ฅผ ๋ฎ์ถฅ๋๋ค. ๋ํ ์ ์ด ์ ํญ ๊ฐ์๋ก ์ ๋ ฅ ์์ค์ ์ค์ด๊ณ , ๋์ผํ ๋ฉด์ ์ ๋ ๋ง์ ์ฐ๊ฒฐ์ ๊ตฌํํ ์ ์์ด ๋ฐ์ดํฐ ์ ์ก ์๋์ ์์ ์ฑ์ ๋์ ๋๋ค. ํนํ AMD ์ 3D V-Cache ์์ ์ด๋ฏธ ๊ฒ์ฆ๋ ์ด ๊ธฐ์ ์ AI ๊ฐ์๊ธฐ ์์คํ ์์ ํ์์ ์ธ ์์๋ก ์๋ฆฌ ์ก๊ณ ์์ต๋๋ค.
์์จ ์ฐ๋ ค๋ ์ฅ๋น ๋ฐ์ ์ผ๋ก ํด์, ๊ณ ์ฑ๋ฅ HBM4E ์ ํต์ฌ์ Hybrid Bonding
๊ณผ๊ฑฐ์๋ ๊ณต์ ์์จ ๋ฌธ์ ๊ฐ ๊ฐ์ฅ ํฐ ๊ฑธ๋ฆผ๋์ด์์ผ๋, BESI(BE Semiconductor Industries) ๋ฅผ ํ๋๋ก ํ ์ฅ๋น ๊ธฐ์ ์ ๋น์ฝ์ ๋ฐ์ ์ด ์ด๋ฅผ ๊ทน๋ณตํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ต์ ์ฅ๋น๋ sub-micron ์์ค์ ์ ๋ ฌ ์ ํ๋์ ๋์ ๋ฐ๋ณต์ ๋ฐ๋๋ฅผ ๊ตฌํํ์ฌ ๋ค์ธต ์ ์ธต ๊ตฌ์กฐ์์๋ ์์ ์ ์ธ ์ ํฉ์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํ์ต๋๋ค. ์ด๋ฏธ์ง ์ผ์ ๋ฑ ๋ค๋ฅธ ์ฒจ๋จ ๋ถ์ผ์์ ์ด๋ฏธ ์์ฉํ๋ ๊ฒฝํ์ ๋ฐํ์ผ๋ก ์์ฐ ๊ฐ๋ฅํ ๋จ๊ณ๋ก ์ง์ ํ Hybrid Bonding ์ HBM4E ์์ ๊ณ ์ฑ๋ฅ ์ ํ ์ค์ฌ์ผ๋ก ์ฑํ๋ ํ๋ฅ ์ด ๋งค์ฐ ๋์ต๋๋ค. ์คํ ๋์ด ๊ท๊ฒฉ์ด ์ํ๋๋๋ผ๋, ์ ํธ ์ ๋ฌ ๊ฑฐ๋ฆฌ ๋จ์ถ๊ณผ ์ฐ๊ฒฐ ๋ฐ๋ ์ฆ๊ฐ๋ผ๋ ๊ตฌ์กฐ์ ์ด์ ์ ๋์น ์ ์๋ ์ํฉ์ ๋๋ค.
HBM4E ์คํ ๋์ด ๊ท๊ฒฉ์ด ์ค์ ๋ก 900 ยตm ๊น์ง ์ํ๋ ๊ฒฝ์ฐ, ์ผ๋ถ ์ ๊ฐํ ์ ํ๊ตฐ์์๋ ๊ธฐ์กด TC ๋ณธ๋ฉ ๋ฐฉ์์ด ์ ์ง๋์ด Hybrid Bonding ์์๊ฐ ์์๋ณด๋ค ๋ฎ์์ง ์ ์์ต๋๋ค. ๋ํ ๋ค์ธต ์ ์ธต ์ ์ ๋ ฌ ์ค์ฐจ ๋์ ์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ณต์ ๊ด๋ฆฌ ๋์ด๋๊ฐ ์ฌ์ ํ ์กด์ฌํ์ฌ, ์ด๊ธฐ ์์ฐ ๋จ๊ณ์์ ์์จ ํ๋ณต ์๋๊ฐ ๋๋ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์์ต๋๋ค.
HBM4E ์ธ๋์์๋ ์คํ ๋์ด ์ํ์๋ ๋ถ๊ตฌํ๊ณ Hybrid Bonding ์ ๊ธฐ์ ์ ์ฐ์๊ฐ ํ๊ณ ํด์ง๋ฉฐ, ์ฅ๋น ๊ฐ์์ธ BESI ๋ฅผ ์ค์ฌ์ผ๋ก ํ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ณํ๊ฐ ๋ณธ๊ฒฉํ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.